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離子濺射儀常見四種故障現(xiàn)象的解決方法分享

發(fā)布者:YX    來源:上海仰光電子科技有限公司     發(fā)布時間:2023-3-22

離子濺射儀常見四種故障現(xiàn)象的解決方法分享

離子濺射儀常見四種故障現(xiàn)象的解決方法分享

1、故障現(xiàn)象:使用一段時間后,濺射電流變小

解決方法:對靶材有無變色、破裂和油污等現(xiàn)進行檢查。前兩者對靶材進行更換,后者被油蒸汽污染,通過無水乙醇進行清潔,等到干了以后才能夠抽真空。

2、故障現(xiàn)象:在使用一段時間以后,有著過低的真空。

解決方法:對濺射室中或管道內(nèi)是否有油進行檢查,能夠使用汽油進行清洗。

3、故障現(xiàn)象:濺射電流不穩(wěn)定忽高忽低

解決方法:陰極罩與靶的固定環(huán)有著過近的距離,將陰極罩逆時針旋轉(zhuǎn),對間距進行調(diào)整。  

4、故障現(xiàn)象:有著過低的真空

解決方法:將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊。

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